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超精密CNC加工の分類タイプは何ですか？

1つ、超精密CNC加工

主に超精密旋削、鏡面研削、研削があります。マイクロ旋削用単結晶ダイヤモンド旋削工具を微研削した後の超精密旋盤では、切削厚さはわずか約1ミクロンで、非鉄金屬材料の加工によく使用されます。高精度で非常に滑らかな表面部品など、球形、非球面の表面および表面反射板。

たとえば、核融合裝置で使用される直徑800 mmの非球面反射器は、0.1ミクロンまでの最高の精度を持ち、表面粗さはRz0.05ミクロンです。

2つの超精密CNC精密旋盤部品特殊加工

ナノメートル、そして最終的には原子単位（原子格子距離は0.1?0.2 nm）までの加工精度を目標として、加工方法は満たすことができず、化學エネルギー、電気化學エネルギー、熱または電気の適用という特別な処理方法が必要でした等々、これらのエネルギーを原子間の結合エネルギーを超えて作り、それによってワークピースの接著、結合、格子変形の表面の原子間の部分を取り除き、超精密加工の目的を達成します。

これらのプロセスには、機械化學的研磨、イオンスパッタリングとイオン注入、電子ビーム曝気、レーザービーム処理、金屬蒸発、分子線エピタキシーが含まれます。

これらの方法は、表層材料の除去または追加量を非常に細かく制御するという特徴がありますが、超精密加工精度を得るには、精密加工設備と精密制御システムに依存し、超精密を使用します仲介者としてのマスク。

たとえば、vlsiの製版では、電子ビームを使用してフォトレジストをマスクに露光し（フォトリソグラフィを參照）、フォトレジストの原子が電子の衝撃下で直接重合（または分解）され、次にポリマーまたは重合していないポリマーを現(xiàn)像液で溶解してマスクを作成します。電子ビーム露光プレートの作成には、最大±0.01ミクロンの位置決め精度を備えた超精密CNC機械加工裝置が必要です。

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