?????? ????????? ??., ???.??.?? ?????? 10 ?????????????? ????? ????????????? ????????????? ????? ??? ?????????? ??.???.?? ?????? ????????????, ????? ???????? ???????????: ?????????? ??.???.?? ???????????, ??.???.?? ?????????? ???????? ??????????, ???????? ????? ??????????, ???????? ???????? ??.???.?? ??????????, ?????? ???????? ??.???.?? ?????????? ??????? ???????? ?????????? ??.???.?? ????????; ??????? ??????? ??????? ???????????? ??????? ??????????? ??????????? ??????? ?????? ???????? ??????????? ????????????? ????????????, ???????? ????????????.
????? ?????????? ??.???.?? ???????????? ????????? ?????? ?????
?????, ???????-?????????? ??.???.?? ????????
?????????? ???-?????????? ???????????, ??????? ???????? ??????? ???????? ?????? ?????. ?????? ???????????????? ????? ???? ??? ???????? ??????? ?????? ?????? ???? ????? ?????????? ????????, ?????? 1 ???????? ?????? ?????????, ???????????? ??????? ?????? ???? ????????? ???????? ???????????? ???? ??????????, ??????? ????????? ?????????? ???????? ????? ???, ????????? ?????????? ??????? ?????????? ??????????????.
????????????????, ??? ????? ??????????? ????????????????? 800 ???? ??????? ????? ????????? ?????????????????? 0.1 ???????? ??? ??? ??????? ????????????? ????????????, ?????? ?????????? ??????????? Rz0.05 ???????? ?????.
??????, ???-?????????? ??.???.?? ??????? ???????? ???????? ??????? ??????????
??????????????? ??????? ?????????, ????????? ??? ???????? (??? ????? ????? 0.1 ~ 0.2 ???.???) ???????, ?????? ???? ???????? ????? ????????, ??? ??????? ???????? ???? ????, ?????? ????????? ??????, ???? ????????? ??????, ??????? ?????? ????????? ??????, ???? ?????? ???????????? ??????? ?????????? ?????????? ??????? ?????????, ???? ????? ????? ??????? ???????????? ????????? ??????????, ????????? ????????, ???????? ??????? ????? ????????? ??????????? ???????????? ???? ???????????? ???????? ??????? ???????????.
???? ?????????????? ???????-????????? ???????????, ???? ????????? ??????? ???? ???????????, ?????????? ????? ???????????, ????? ????? ??????????, ???? ???????? ??????? ????????? ????? ????????? ?????? ????????.
???? ??????? ??????????? ?????? ????????????? ?????????? ??????? ???????? ?????? ?????????????????? ????? ??????????????????????.?????, ????? ?????????? ?????? ??????????? ???, ??? ??????? ?????????? ?????? ?????????? ??????? ?????????? ????????????? ???????? ?????????, ?????? ????? ????????????? ???????????????? ??????????? ???????.
????????????????, vlsi ??? ????? ?????????? ?????? ?????????????? ?????????????????? ???????????? ?????????? ????? ?????????????????? (????????????????? ???????????), ?????? ??????????????????? ???????? ??????????????? ??????????? ???? ???????? ????????? ???????????????? (?????? ??????????????), ??????? ??? ????? ??????? ?????? ????????? ????????????? ????????? ???????? ??????????? ????????????????. ?????????? ????? ?????????? ????? ????????????? .0 0.01 ???????? ??? ??????????? ?????????????? ????? ?????????? ??????? ?????? ?????????? ???????????????.
?