Weihua technology co., LTD - це прециз?йна обробна машина з ЧПУ, що ма? понад 10 рок?в накопичення технолог?й, забезпечуючи б?знес, включаючи: точне токарне ЧПУ, обробку прециз?йних деталей з ЧПУ, обробку алюм?н??вих сплав?в, обробку ЧПУ з? складних деталей, обробку ЧПУ з нестандартних деталей р?зноман?тна точна обробка з ЧПУ; у нас ? досв?дчен? ?нженери та техн?ки та чудов? квал?ф?кован? техн?ки, ласкаво просимо проконсультуватися.
Як? класиф?кац?йн? типи ультраточно? обробки з ЧПУ?
Одна, надточна обробка з ЧПУ
В основному ?снують надточн? токарн? роботи, дзеркальне шл?фування та шл?фування. У надточному токарному верстат? п?сля тонкого подр?бнення монокристал?чного алмазного токарного ?нструменту для м?кротокарного виробництва товщина р?зання склада? лише близько 1 мкм, часто використову?ться для обробки кольорових металевих матер?ал?в сферична, асферична поверхня та поверхневий в?дбивач, так? як високоточн?, високо гладк? детал? поверхн?.
Наприклад, асферичн? в?дбивач? д?аметром 800 мм, що використовуються в ядерних термоядерних пристроях, мають найвищу точн?сть до 0,1 мкм, а шорстк?сть поверхн? становить Rz 0,05 мкм.
Дв? надточн? точн? токарн? детал? з ЧПУ спец?ально? обробки
Точн?сть механ?чно? обробки до нанометра ?, врешт?-решт, до атомно? одиниц? (в?дстань атомно? реш?тки становить 0,1 ~ 0,2 нм) як ц?л?, спос?б механ?чно? обробки не може досягти, потр?бен спец?альний метод обробки, а саме застосування х?м?чно? енерг??, енерг?? електрох?м??, тепла або електрики ? так дал?, роб?ть цю енерг?ю за межами енерг?? зв’язку м?ж атомами, тим самим видаляючи частину м?ж атомами на поверхн? зчеплення заготовки, зв’язування та деформац?? реш?тки, щоб досягти мети надточно? обробки.
Ц? процеси включають механ?ко-х?м?чне пол?рування, розпилення ?он?в та ?мплантац?ю ?он?в, аерац?ю електронного пучка, обробку лазерним променем, випаровування метал?в та еп?такс?ю молекулярного пучка.
Ц? методи характеризуються дуже точним контролем к?лькост? видаленого або доданого матер?алу поверхневого шару, однак для отримання надточно? точност? механ?чно? обробки це все ще залежить в?д точного обробного обладнання та точно? системи управл?ння, а ВИКОРИСТОВУ?ТЬ ультраточну маска як посередник.
Наприклад, виготовлення пластини vlsi поляга? у використанн? електронного пучка для викриття фоторезисту на масц? (див. Фотол?тограф?ю), так що атоми фоторезисту безпосередньо пол?меризуються (або розкладаються) п?д впливом електрон?в, а пот?м частина розробник розчиня? пол?мер або не пол?меризу?ться для виготовлення маски. Для виготовлення пластини, що вплива? на електронний пром?нь, потр?бно надточне обробне обладнання з ЧПУ з точн?стю позиц?онування до ± 0,01 мкм.
?